溫馨提示:關注(zhu)微信公眾號,回(hui)復(fu)(fu)數字(zi)(zi)"1",了解背(bei)光Mini LED技術,回(hui)復(fu)(fu)數字(zi)(zi)"2",Mini LED生產工藝,回(hui)復(fu)(fu)數字(zi)(zi)"3",Mini LED背(bei)板企業,回復數字"4",Micro LED相關視頻,回復數字"5",論壇直(zhi)播回放,產業鏈報告(gao)分享及下(xia)載(zai)。

由于具有功耗更低、亮度和對比度更高、效率更高等優勢,Mini LED市場正在快速崛起。其應用也從電視機、智能手機、平板電腦和AR/VR數字顯示器等常見電子消費品類,慢慢擴展到汽車和工業照明等領域,并且還在持續高速增長。因此,為了更好地迎合市場需求,抓住市場機遇,以經濟高效的方式提高Mini LED產品質量并提升盈利能力,對于Mini LED生產制造商來說,顯得尤為重要。
以具有成本效(xiao)益(yi)的(de)(de)方式來(lai)生產Mini LED,需要(yao)滿足高(gao)(gao)(gao)速度(du)、高(gao)(gao)(gao)精(jing)度(du)、可追(zhui)溯(su)(su)性(xing)控制這3點要(yao)求(qiu)。康(kang)(kang)耐(nai)視(shi)擁有超過(guo)41年的(de)(de)從業經驗(yan),一直在半(ban)導(dao)體制造(zao)領域深(shen)耕,幫助機(ji)器(qi)制造(zao)商和OEM制造(zao)商利用機(ji)器(qi)視(shi)覺技(ji)術確保在分揀、計數(shu)和邦定過(guo)程中精(jing)確對位晶(jing)圓,并使(shi)用康(kang)(kang)耐(nai)視(shi)基于人工智能(AI)的(de)(de)技(ji)術解決先進的(de)(de)檢測挑(tiao)戰,以改(gai)進產品(pin)質量,再通過(guo)圖像讀(du)碼器(qi)幫助提高(gao)(gao)(gao)晶(jing)圓和Mini LED晶(jing)粒的(de)(de)全面可追(zhui)溯(su)(su)性(xing)。

以下就具體列舉(ju)三個通過康耐視智(zhi)造方案就能輕松解決的半導體制造應(ying)用難點,從而優化(hua)生產(chan)工藝并實現可追(zhui)溯性。
【對位解決方案】NO.1 定位Mini LED晶粒以進行分揀
如(ru)今的(de)(de)Mini LED和(he) MicroLED具有納米(mi)級尺寸(cun)特征(zheng),這要(yao)求在執行需(xu)要(yao)對位(wei)的(de)(de)生(sheng)產流(liu)程時(如(ru)切割、計數、分(fen)揀和(he)邦(bang)定)具有高精(jing)度。康耐(nai)視對位(wei)解決方案使用行業領(ling)先的(de)(de)機器視覺工具快速、準確地定位(wei)和(he)對位(wei)圖(tu)案與基準點,包括在不利的(de)(de)應用條件(jian)下,幫助客戶顯著提(ti)高成(cheng)品率、改進產品質(zhi)量(liang)和(he)降低生(sheng)產成(cheng)本。
挑戰:
晶圓測試系統(tong)需要創建晶圓上所有(you)Mini LED Mapping,以采集關鍵屬性數據。在晶粒繪圖過程完成之后,機器將根據質量對單個Mini LED晶粒進行分揀(分箱)。分揀系統使用機器視覺和圖案匹配視覺工具定位每個目標晶粒,并與機器共享其在晶圓上的位置,以便機器拾取目標晶粒。由于Mini LED生產具有大批量和自動化特征,因此速度至關重要。一般的視覺定位工具無法達到單個晶粒小于4ms的定位速度。此外,晶圓表面可能存在劃痕或污染物,或者具有較高的反光率,這些不利因素將會妨礙一般工具快速、準確地定位晶粒。
解(jie)決方案:
康(kang)(kang)耐(nai)視VisionPro軟件可為(wei)Mini LED分(fen)揀應用(yong)提(ti)供功(gong)能(neng)強(qiang)大、準確(que)且快速的晶粒(li)圖(tu)案定位,幫助客戶避(bi)免這些問(wen)題的出現(xian)。PatMax視覺工(gong)具(ju)是康(kang)(kang)耐(nai)視取(qu)得(de)專利的幾(ji)何(he)圖(tu)案定位算法(fa),能(neng)夠定位具(ju)有變化性(xing)的晶粒(li)圖(tu)案,并準確(que)對位微型夾持器,以(yi)實現(xian)準確(que)的拾取(qu)。該工(gong)具(ju)能(neng)夠高(gao)度精確(que)且可重復地定位晶粒(li),確(que)保在(zai)整(zheng)個Mini LED制造過(guo)程中提(ti)供可靠(kao)的設備性(xing)能(neng)。借助康(kang)(kang)耐(nai)視解(jie)決方案,OEM制造商(原(yuan)始設備制造商)可以(yi)實現(xian)高(gao)速對位,從而優化拾取(qu)—放置過(guo)程,并提(ti)高(gao)整(zheng)體設備效率。

【檢測(ce)/分類解(jie)決方案】NO.2探針標記檢測和分類
“每種晶圓的成品(pin)率”是Mini LED制(zhi)造商用于評估質量的最佳指標,并(bing)(bing)影響(xiang)利潤(run)率,因此(ci)在生產流程的各個節點,使用康耐(nai)視機器視覺和基于人(ren)工智(zhi)能(AI)的技術進行缺(que)陷檢測,有(you)助于及早發現問題,并(bing)(bing)快速采取糾正(zheng)措(cuo)施,以及記錄結果。該技術可以標記真正(zheng)的缺(que)陷,并(bing)(bing)忽略可接受水(shui)平范(fan)圍(wei)內的自(zi)然變(bian)化(hua),從而優化(hua)制(zhi)造工藝并(bing)(bing)減少缺(que)陷,顯(xian)著提高成品(pin)率。
挑戰(zhan):
LED和Mini LED晶粒是通過(guo)將光刻(ke)工(gong)藝(yi)應(ying)用于由半導體材料制成的(de)(de)(de)超薄晶圓制成的(de)(de)(de)。當此工(gong)藝(yi)完成后(hou),探(tan)針(zhen)將檢查每個晶粒,以(yi)確保(bao)電氣連續性。接觸到(dao)晶粒后(hou),探(tan)針(zhen)會在每個晶粒的(de)(de)(de)焊盤上留下(xia)一個小標記。該標記應(ying)當位于焊盤中(zhong)心位置(zhi),并且表明探(tan)針(zhen)施(shi)加了正確的(de)(de)(de)壓(ya)力(li)(li)。如果探(tan)針(zhen)施(shi)加過(guo)大(da)的(de)(de)(de)壓(ya)力(li)(li),隨著時間的(de)(de)(de)推移,將會導致探(tan)針(zhen)損壞(huai),并使晶粒質量下(xia)降。
探針價格(ge)(ge)昂貴,因此維持正確的(de)(de)壓力對于(yu)確保其使(shi)用(yong)壽命非常重要。由于(yu)探針標記(ji)的(de)(de)形狀、大(da)小(xiao)和(he)位(wei)置存在(zai)許多差異,因此使(shi)用(yong)基(ji)于(yu)規(gui)則的(de)(de)傳統機(ji)器(qi)視覺檢測和(he)分類“合(he)格(ge)(ge)”與(yu)“不(bu)(bu)合(he)格(ge)(ge)”標記(ji)較為(wei)困難。不(bu)(bu)一致或誤報的(de)(de)“不(bu)(bu)合(he)格(ge)(ge)”讀數將(jiang)會對成品率(lv)和(he)芯片質量(liang)產生負面影響。
解決(jue)方案:
康耐視(shi)基于(yu)人工智能(neng)(AI)的軟件可幫助驗證“合格”探針標記與“不合格”探針標記之間的差異,使探針測試變得更容易,并且更省時。用戶可使用一系列顯示正確探針標記和不可接受的探針標記圖像對該軟件進行訓練,并可根據“壓力相關”、“偏離中心位置”等不同性質對不可接受的標記進行分類。
操作(zuo)員可(ke)(ke)以(yi)(yi)使(shi)用(yong)此(ci)這(zhe)些信息調整探針壓力或(huo)對位方(fang)式,以(yi)(yi)增加(jia)可(ke)(ke)接(jie)受的探針標(biao)(biao)記(ji)數量(liang),并使(shi)探針保持良好的工(gong)作(zuo)狀(zhuang)態。相比與其他(ta)方(fang)法(fa),使(shi)用(yong)基于人工(gong)智能(AI)的軟件對探針標(biao)(biao)記(ji)進行 檢測可(ke)(ke)以(yi)(yi)提高晶圓的晶粒成品(pin)率,而(er)其他(ta)方(fang)法(fa)可(ke)(ke)能會將合(he)格(ge)標(biao)(biao)記(ji)錯誤地表征為不可(ke)(ke)接(jie)受的標(biao)(biao)記(ji),或(huo)者將不合(he)格(ge)標(biao)(biao)記(ji)錯誤地表征為可(ke)(ke)接(jie)受的標(biao)(biao)記(ji)。

【識別/可(ke)追(zhui)溯性控制(zhi)解決(jue)方案】NO.3晶圓OCR
晶(jing)圓、晶(jing)圓載體(ti)、晶(jing)粒(li)和成品封裝(zhuang)都擁(yong)有識別(bie)(bie)碼,制(zhi)造商必須確保在(zai)制(zhi)造流程的(de)(de)每個環(huan)節(jie)讀取和驗證這些識別(bie)(bie)碼。這將創建追溯信息,以便在(zai)供應(ying)鏈下游(無論是(shi)在(zai)顯示器或照明裝(zhuang)配設施還是(shi)在(zai)最終用(yong)戶客戶場所)出現問(wen)題時能夠進行追溯。根據不(bu)同類(lei)型(xing)的(de)(de)應(ying)用(yong),康(kang)耐視機器視覺系統(tong)或基(ji)于(yu)人工智能(AI)的(de)(de)OCR工具可快速、準確地讀取字(zi)母數(shu)字(zi)字(zi)符或代碼。
挑(tiao)戰:
用于制(zhi)造LED和Mini LED的晶圓帶有激光標記的字母數字代碼或DataMatrix碼,這些代碼位于基板圓盤的一小塊區域上。生產控制系統使用這些代碼在整個半導體制造過程中跟蹤晶圓及其相關晶粒。代碼的外觀可能會在生產過程中退化,產生各種變異,并且晶圓的反光背景也會導致代碼難以讀取。
解決方案:
康耐視讀碼器使用專為晶圓(yuan)識別開發的先進算法(fa),在前(qian)端(duan)和(he)后(hou)端(duan)流(liu)程中提(ti) 供(gong)光(guang)學字(zi)符識別(bie)(OCR)以及一維條碼和二維碼讀取功能。這些系統使用可調整的集成式照明和先進的圖像處理技術,為廣泛的標記方法提供卓越的成像效果,包括字母數字代碼和SEMI-T7 DataMatrix碼。晶圓讀碼器可自動適應由不同的工藝步驟引起的標記外觀變化,減少無法讀取,顯著減少機器輔助需求,并大大延長機器正常運行時間。

文章來源:康耐視
Mini LED產(chan)業(ye)鏈(lian)從(cong)芯片(pian),封裝,到模組以(yi)及顯示器,到最終的終端(duan)產(chan)品(pin),如(ru)平板電腦,筆電,汽車,電視,游戲機(ji)(ji),VR;設備(bei)方面有(you)固(gu)晶(jing)機(ji)(ji),點膠機(ji)(ji),AOI,清(qing)洗(xi)設備(bei)等等,為此,艾邦新建有(you)Mini LED全產(chan)業(ye)鏈(lian)微信群,歡迎您識別二維碼加入。

活動推薦:

閱讀原文即可報名
原文始發(fa)于微信公(gong)眾號(艾邦LED):
